Những tính năng máy đo hạt nano

[thietbidous]

máy đếm hạt nano là gì​

​

Đồng hồ đo kích thước hạt nano là 1 máy mới sở hữu tính giải pháp mạng từ Particle Measuring Systems (PMS). Nó cung ứng độ nhạy của CPC có tính năng dễ dùng và chức năng của máy đếm hạt bụi phòng sạch truyền thống. Được thiết kế để giám sát môi trường rất sạch, nó mang lại độ nhạy phát hiện 10 nm với vận tốc loại là 2,8 L/phút (0,1 CFM).

1 thiết bị đồng hành đa dạng 10 cổng (ParticleSeeker™) hỗ trợ những ứng dụng yêu cầu đa dạng vị trí mẫu để được giám sát theo trình tự tuần tự hoặc được lập trình.

bên cạnh ra, PMS Nano 10 là khí áp suất cao tương thích với HPD-III từ PMS và dữ liệu chắc chắn được xem, đối chiếu và báo cáo bằng ứng dụng giám sát cơ sở PMS Facility Net hoặc truyền trực tiếp đến hệ thống SCADA của bên máy ba hoặc đầu vào công cụ xử lý.

Tính năng PMS Nano 10 vật dụng đếm hạt bụi trong không khí​

• Zero Count < 1,5 số đếm/m3 mà ko cần sử dụng sơ đồ zero count
• Hiệu suất đếm tại: 10 nm = 50% ± 20%, 15 nm = 100% ± 10%
• kích cỡ nhỏ hơn 83% so với các trang bị cạnh tranh (16,5 x 20,2 x 15,2 cm)
• Chỉ cần thiết nạp đầy chất lỏng 1 lần mỗi năm lúc hiệu chuẩn hàng năm, mang khả năng 15 tháng giữa các lần nạp sở hữu hoạt động toàn thời gian 24×7
• Độ nhạy: ≥ 10 nm
• Lưu lượng mẫu: 2,8 LPM (0,1 CFM)
• địa chỉ IP và những địa điểm cư trú trong trạm gốc cho phép vật dụng “trao đổi nóng”
• 4-20mA
• Cổng USB (2): cho Nối tiếp qua USB (cổng dịch vụ) và ổ đĩa usb
• Cổng Ethernet (2): dành cho Giao thức Ethernet & MODBUS qua TCP/IP
• Sẵn sàng hoạt động 20 phút kể từ khi bật nguồn
• Dữ liệu chắc chắn được xem, phân tích và báo cáo bằng ứng dụng giám sát cơ sở PMS Facility Net hoặc truyền trực tiếp đến hệ thống SCADA của bên trang bị ba hoặc đầu vào công cụ xử lý
• Giám sát trình tự tuần tự hoặc được lập trình (với bộ lấy mẫu 10 cổng ParticleSeeker)
• Tương thích với khí áp suất cao
• phù hợp để dùng trong môi trường ISO Class 1

>>> Xem thêm vòng bi tốt nhất

thuận tiện NanoAir 10​

• kích thước cấp nhỏ nhất cho phép giám sát trong những công cụ xử lý trong các khu vực có chức năng trọng yếu nhất và trên các miếng đệm tiện ích cung ứng khí áp suất cao bị tắc nghẽn
• thiết kế hệ thống xử lý chất lỏng đang chờ cấp bằng sáng chế mạnh mẽ và hiệu quả cho hoạt động liên tục 24/7/365 mà không yêu cầu sự can thiệp của khách hàng và ngăn chặn việc lấy loại và thu thập dữ liệu bị gián đoạn
• khuôn khổ khoảng trống bên ngoài tốt nhất trong phân khúc đặt ra tiêu chuẩn cho CPC được thiết kế cho các ứng dụng cung cấp và kiểm soát giai đoạn
• ko dùng luồng không khí vỏ bọc phân phối khả năng lấy dòng khoảng trống
• không mang khả năng di chuyển chất lỏng không mong muốn trong quy trình vận chuyển, xử lý và lắp đặt phổ biến trong các CPC ứng dụng công nghiệp khác
• không có máy bơm hoặc quạt bên trong; dòng bỏ bảo trì và tạo hạt tiềm năng
• Khả năng giám sát nhiều kiểu vị trí dòng theo trình tự tuần tự hoặc được lập trình

ứng dụng Nano Air 10​

​

Giám sát điểm dùng (POU) trong những khu vực xử

Giám sát hoạt động hạt liên tục theo thời gian thực

sử dụng trong những công cụ xử lý chất bán dẫn và mô-đun thiết bị front-end (EFEM)

>>> ngoài ra, bạn có thể tham khảo thêm đồng hồ đo áp suất

Nano Air 10 + ParticleSeeker™ (bộ lấy loại 10 cổng):​

Giám sát bên trong công cụ xử lý máy Môi trường thu nhỏ Mô-đun Front End (EFEM)

tối ưu cho các ứng dụng yêu cầu giám sát điểm loại được lập trình đi theo đường đi của tấm wafer hoặc bề mặt rất cần thiết khác

Giám sát ô nhiễm diện rộng lên đến 120m2 thể tích fab/quy trình

Nano Air 10 + HPD™ III (dùng để giám sát khí trơ áp suất cao)​

sử dụng bộ đếm hạt bụi PMS Nano 10 với HPD III (Bộ khuếch tán áp suất cao) của PMS cho phép đo khí khối áp suất cao theo thời gian thực, liên tục, mang độ nhạy cao.